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Research on Pressure Sensor of Circular Monocrystalline Silicon Chassis 期刊论文
Journal of Physics: Conference Series, 2024, 卷号: 2800, 期号: 1
作者:  Zhu,Ziyi;  Zhang,Shougang;  Ruan,Jun
收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2025/04/03
Precision instrumentation  Circular pressure sensor  Rectangular pressure sensor  COMSOL simulation  Performance analysis